電子工業(yè)潔凈廠房無(wú)塵車(chē)間空氣凈化工程改造方案
電子工業(yè)潔凈廠房無(wú)塵車(chē)間空氣凈化工程改造方案
電子工業(yè)潔凈廠房無(wú)塵車(chē)間空氣凈化工程改造方案,廠房?jī)?nèi)只對(duì)千級(jí)間黃光室設(shè)圍護(hù)結(jié)構(gòu)，其余房間均為敞開(kāi)式，凈化區(qū)域與非凈化區(qū)混合在一起，系統(tǒng)較為混亂，難以控制和調(diào)節(jié)，凈化區(qū)域的潔凈度不能達(dá)到要求,系統(tǒng)改造后經(jīng)高度確保每個(gè)房間的風(fēng)量、正壓達(dá)到設(shè)計(jì)要求，在動(dòng)態(tài)下檢測(cè)，廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到設(shè)計(jì)要求。尤其是系統(tǒng)改造前問(wèn)題比較突出的幾個(gè)區(qū)域，黃光室達(dá)到動(dòng)態(tài)千級(jí)；護(hù)散爐區(qū)域經(jīng)過(guò)彩鋼板圍護(hù)，其周?chē)鷧^(qū)域溫度達(dá)到達(dá)設(shè)計(jì)要求；酸洗槽改為上抽風(fēng)，斷面風(fēng)速均達(dá)到0．3m／s;風(fēng)淋室的初、高效過(guò)濾器更換后，阻力降低，更換循環(huán)風(fēng)機(jī)后風(fēng)速提高，出口風(fēng)速達(dá)到26m／s。
本文在天津某電子廠房原有的凈化空調(diào)工程基礎(chǔ)上，潔凈廠房,無(wú)塵車(chē)間,空氣凈化工程--電子工業(yè)潔凈廠房無(wú)塵車(chē)間空氣凈化工程改造方案對(duì)工藝布置和凈化空調(diào)系統(tǒng)提出改造方案，并對(duì)方案設(shè)計(jì)進(jìn)行了簡(jiǎn)單的介紹。
1 原有凈化空調(diào)工程情況
1．1 簡(jiǎn)況
該廠房位于天津市開(kāi)發(fā)區(qū)，建于1995年，主要生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片。廠房共建三層，需改造項(xiàng)目位于二層，系統(tǒng)的平面布置如圖1所示。系統(tǒng)總面積1510m2， 其中空調(diào)面積385m2， 凈化面積1125m2，凈化級(jí)別除黃光室為千級(jí)外，其余均為萬(wàn)級(jí)。熱源為廠區(qū)生產(chǎn)的0．3MPa的蒸汽，冷源采用螺桿式冷水機(jī)組，冷凍水出水溫度為7℃，回水溫度12℃，冷水機(jī)組和空氣處理機(jī)組位于一層機(jī)房?jī)?nèi)，空氣處理機(jī)組采用組裝式凈化用空氣處理機(jī)組一臺(tái)，風(fēng)機(jī)風(fēng)量為6000m3／h，機(jī)外余壓為800Pa，送風(fēng)段設(shè)置兩條1250mmx800mm的送風(fēng)管，向系統(tǒng)各房間送風(fēng)。
1．2 系統(tǒng)存在的主要問(wèn)題
(1)廠房?jī)?nèi)只對(duì)千級(jí)間黃光室設(shè)圍護(hù)結(jié)構(gòu)，其余房間均為敞開(kāi)式，凈化區(qū)域與非凈化區(qū)混合在一起，系統(tǒng)較為混亂，難以控制和調(diào)節(jié)，凈化區(qū)域的潔凈度不能達(dá)到要求；
(2)非凈化區(qū)域的擴(kuò)散爐，經(jīng)測(cè)定表面溫度可達(dá)50℃，散熱量非常大，在原有設(shè)計(jì)中存在空調(diào)送風(fēng)量不足問(wèn)題，造成擴(kuò)散爐周?chē)鷧^(qū)域的溫度高達(dá)37℃，并且回風(fēng)循環(huán)使用，不利于節(jié)能；
(3)酸洗槽的排風(fēng)量不足，平均斷面風(fēng)速為O．1m／s，酸性物質(zhì)存留在室內(nèi)環(huán)境中，不能有效地排出，嚴(yán)重影響室內(nèi)的衛(wèi)生和生產(chǎn)環(huán)境；
(4)在廠房潔凈區(qū)入口處的風(fēng)淋室風(fēng)速為12m／s的要求，需要更換循環(huán)風(fēng)機(jī)。
2 改造方案
針對(duì)系統(tǒng)運(yùn)行中出現(xiàn)的的以上情況，經(jīng)與甲
統(tǒng)風(fēng)量計(jì)如表1所示。K-1系統(tǒng)經(jīng)計(jì)算按照擴(kuò)散爐的散熱量計(jì)算送風(fēng)量，根據(jù)文獻(xiàn)【2】工業(yè)爐的散熱量，其中室內(nèi)設(shè)計(jì)溫度取30℃，空調(diào)送風(fēng)溫度取20℃，經(jīng)計(jì)算擴(kuò)散爐的總冷負(fù)荷為69kW，空調(diào)送風(fēng)量為20700m3／h根據(jù)計(jì)算結(jié)果JK-2系統(tǒng)仍然采用以前的空調(diào)機(jī)組(系統(tǒng)機(jī)組外阻力為700Pa)，其余兩個(gè)系統(tǒng)分別采用新空調(diào)機(jī)組，其中因?yàn)闄C(jī)房位置的限制，JK-1系統(tǒng)空調(diào)機(jī)組設(shè)在原來(lái)的空調(diào)機(jī)機(jī)房?jī)?nèi)，K-1系統(tǒng)空調(diào)機(jī)組選用吊頂式空調(diào)機(jī)組，置于夾層內(nèi)。
(2)JK-1系統(tǒng)在黃光室的入口增設(shè)風(fēng)淋室，因無(wú)物流通道，設(shè)置傳遞窗，以保證室內(nèi)的潔凈皮。
(3)JK-2系統(tǒng)主要存在兩個(gè)問(wèn)題：第一是酸洗槽的排風(fēng)罩設(shè)在酸洗槽的側(cè)面不利于有害氣體的排出，改造設(shè)計(jì)中將排風(fēng)罩設(shè)在酸洗槽上方；第二酸洗槽的排風(fēng)量根據(jù)生產(chǎn)要求，槽的斷面風(fēng)速達(dá)到0．25m／s，當(dāng)所有酸洗槽同時(shí)工作時(shí)，排風(fēng)量高達(dá)32200m3／h，所以對(duì)排風(fēng)的能源進(jìn)行回收，設(shè)置防酸性熱回收裝置，風(fēng)量排出前先與新風(fēng)進(jìn)行熱量交換進(jìn)行熱量交換，節(jié)約運(yùn)行費(fèi)用。
(4)K-1系統(tǒng)，因?yàn)樽o(hù)散爐間人員極少進(jìn)入，全年的運(yùn)行方案為：夏季因擴(kuò)散爐的散熱量較大，系統(tǒng)做成全排式；過(guò)渡季節(jié)當(dāng)室外溫度低于送風(fēng)溫度時(shí)，停止制冷，將新風(fēng)作為冷源直接送入室內(nèi)；冬季因?yàn)榕棚L(fēng)溫度較高，可用排風(fēng)預(yù)熱新風(fēng)到設(shè)計(jì)溫度后送入室內(nèi)，最大限度地節(jié)省運(yùn)行費(fèi)用，避免能源的浪費(fèi)。
3 改造后的使用效果
系統(tǒng)改造后經(jīng)高度確保每個(gè)房間的風(fēng)量、正壓達(dá)到設(shè)計(jì)要求，在動(dòng)態(tài)下檢測(cè)，廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到設(shè)計(jì)要求。尤其是系統(tǒng)改造前問(wèn)題比較突出的幾個(gè)區(qū)域，黃光室達(dá)到動(dòng)態(tài)千級(jí)；護(hù)散爐區(qū)域經(jīng)過(guò)彩鋼板圍護(hù)，其周?chē)鷧^(qū)域溫度達(dá)到達(dá)設(shè)計(jì)要求；酸洗槽改為上抽風(fēng)，斷面風(fēng)速均達(dá)到0．3m／s;風(fēng)淋室的初、高效過(guò)濾器更換后，阻力降低，更換循環(huán)風(fēng)機(jī)后風(fēng)速提高，出口風(fēng)速達(dá)到26m／s。
本工程改造前主要特點(diǎn)表現(xiàn)在系統(tǒng)工藝布置不合理(未對(duì)凈化區(qū)及非凈化區(qū)時(shí)行明確劃分)、混用掙化及非凈化區(qū)空調(diào)系統(tǒng)，不符合“規(guī)范”的要求；酸洗槽排風(fēng)量不足；護(hù)散爐區(qū)因送風(fēng)少及未設(shè)局排設(shè)施導(dǎo)致環(huán)境溫度超標(biāo)；改造后將生產(chǎn)工藝布局做了適當(dāng)調(diào)整，按照規(guī)
范的要求，對(duì)凈化區(qū)及非凈化區(qū)單獨(dú)設(shè)置空調(diào)系統(tǒng)；加大酸洗槽排風(fēng)量，同時(shí)采用了熱排風(fēng)問(wèn)收裝置，對(duì)補(bǔ)充新風(fēng)進(jìn)行預(yù)熱 (預(yù)冷)，節(jié)約能源，降低運(yùn)行費(fèi)用。建議在今后的空調(diào)工程設(shè)計(jì)中，對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境有要求的工藝，既應(yīng)該按照生產(chǎn)過(guò)程布置工藝，同時(shí)還要考慮到有利于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)和控制，保證生產(chǎn)環(huán)境的可靠性。
4 結(jié)論
K-1系統(tǒng)，因?yàn)樽o(hù)散爐間人員極少進(jìn)入，全年的運(yùn)行方案為：夏季因擴(kuò)散爐的散熱量較大，系統(tǒng)做成全排式；過(guò)渡季節(jié)當(dāng)室外溫度低于送風(fēng)溫度時(shí)，停止制冷，將新風(fēng)作為冷源直接送入室內(nèi)；冬季因?yàn)榕棚L(fēng)溫度較高，可用排風(fēng)預(yù)熱新風(fēng)到設(shè)計(jì)溫度后送入室內(nèi)，最大限度地節(jié)省運(yùn)行費(fèi)用，避免能源的浪費(fèi)。
電子工業(yè)潔凈廠房無(wú)塵車(chē)間空氣凈化工程改造方案,廠房?jī)?nèi)只對(duì)千級(jí)間黃光室設(shè)圍護(hù)結(jié)構(gòu)，其余房間均為敞開(kāi)式，凈化區(qū)域與非凈化區(qū)混合在一起，系統(tǒng)較為混亂，難以控制和調(diào)節(jié)，凈化區(qū)域的潔凈度不能達(dá)到要求,系統(tǒng)改造后經(jīng)高度確保每個(gè)房間的風(fēng)量、正壓達(dá)到設(shè)計(jì)要求，在動(dòng)態(tài)下檢測(cè)，廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到設(shè)計(jì)要求。尤其是系統(tǒng)改造前問(wèn)題比較突出的幾個(gè)區(qū)域，黃光室達(dá)到動(dòng)態(tài)千級(jí)；護(hù)散爐區(qū)域經(jīng)過(guò)彩鋼板圍護(hù)，其周?chē)鷧^(qū)域溫度達(dá)到達(dá)設(shè)計(jì)要求；酸洗槽改為上抽風(fēng)，斷面風(fēng)速均達(dá)到0．3m／s;風(fēng)淋室的初、高效過(guò)濾器更換后，阻力降低，更換循環(huán)風(fēng)機(jī)后風(fēng)速提高，出口風(fēng)速達(dá)到26m／s。
本文在天津某電子廠房原有的凈化空調(diào)工程基礎(chǔ)上，潔凈廠房,無(wú)塵車(chē)間,空氣凈化工程--電子工業(yè)潔凈廠房無(wú)塵車(chē)間空氣凈化工程改造方案對(duì)工藝布置和凈化空調(diào)系統(tǒng)提出改造方案，并對(duì)方案設(shè)計(jì)進(jìn)行了簡(jiǎn)單的介紹。
1 原有凈化空調(diào)工程情況
1．1 簡(jiǎn)況
該廠房位于天津市開(kāi)發(fā)區(qū)，建于1995年，主要生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片。廠房共建三層，需改造項(xiàng)目位于二層，系統(tǒng)的平面布置如圖1所示。系統(tǒng)總面積1510m2， 其中空調(diào)面積385m2， 凈化面積1125m2，凈化級(jí)別除黃光室為千級(jí)外，其余均為萬(wàn)級(jí)。熱源為廠區(qū)生產(chǎn)的0．3MPa的蒸汽，冷源采用螺桿式冷水機(jī)組，冷凍水出水溫度為7℃，回水溫度12℃，冷水機(jī)組和空氣處理機(jī)組位于一層機(jī)房?jī)?nèi)，空氣處理機(jī)組采用組裝式凈化用空氣處理機(jī)組一臺(tái)，風(fēng)機(jī)風(fēng)量為6000m3／h，機(jī)外余壓為800Pa，送風(fēng)段設(shè)置兩條1250mmx800mm的送風(fēng)管，向系統(tǒng)各房間送風(fēng)。
1．2 系統(tǒng)存在的主要問(wèn)題
(1)廠房?jī)?nèi)只對(duì)千級(jí)間黃光室設(shè)圍護(hù)結(jié)構(gòu)，其余房間均為敞開(kāi)式，凈化區(qū)域與非凈化區(qū)混合在一起，系統(tǒng)較為混亂，難以控制和調(diào)節(jié)，凈化區(qū)域的潔凈度不能達(dá)到要求；
(2)非凈化區(qū)域的擴(kuò)散爐，經(jīng)測(cè)定表面溫度可達(dá)50℃，散熱量非常大，在原有設(shè)計(jì)中存在空調(diào)送風(fēng)量不足問(wèn)題，造成擴(kuò)散爐周?chē)鷧^(qū)域的溫度高達(dá)37℃，并且回風(fēng)循環(huán)使用，不利于節(jié)能；
(3)酸洗槽的排風(fēng)量不足，平均斷面風(fēng)速為O．1m／s，酸性物質(zhì)存留在室內(nèi)環(huán)境中，不能有效地排出，嚴(yán)重影響室內(nèi)的衛(wèi)生和生產(chǎn)環(huán)境；
(4)在廠房潔凈區(qū)入口處的風(fēng)淋室風(fēng)速為12m／s的要求，需要更換循環(huán)風(fēng)機(jī)。
2 改造方案
針對(duì)系統(tǒng)運(yùn)行中出現(xiàn)的的以上情況，經(jīng)與甲
統(tǒng)風(fēng)量計(jì)如表1所示。K-1系統(tǒng)經(jīng)計(jì)算按照擴(kuò)散爐的散熱量計(jì)算送風(fēng)量，根據(jù)文獻(xiàn)【2】工業(yè)爐的散熱量，其中室內(nèi)設(shè)計(jì)溫度取30℃，空調(diào)送風(fēng)溫度取20℃，經(jīng)計(jì)算擴(kuò)散爐的總冷負(fù)荷為69kW，空調(diào)送風(fēng)量為20700m3／h根據(jù)計(jì)算結(jié)果JK-2系統(tǒng)仍然采用以前的空調(diào)機(jī)組(系統(tǒng)機(jī)組外阻力為700Pa)，其余兩個(gè)系統(tǒng)分別采用新空調(diào)機(jī)組，其中因?yàn)闄C(jī)房位置的限制，JK-1系統(tǒng)空調(diào)機(jī)組設(shè)在原來(lái)的空調(diào)機(jī)機(jī)房?jī)?nèi)，K-1系統(tǒng)空調(diào)機(jī)組選用吊頂式空調(diào)機(jī)組，置于夾層內(nèi)。
(2)JK-1系統(tǒng)在黃光室的入口增設(shè)風(fēng)淋室，因無(wú)物流通道，設(shè)置傳遞窗，以保證室內(nèi)的潔凈皮。
(3)JK-2系統(tǒng)主要存在兩個(gè)問(wèn)題：第一是酸洗槽的排風(fēng)罩設(shè)在酸洗槽的側(cè)面不利于有害氣體的排出，改造設(shè)計(jì)中將排風(fēng)罩設(shè)在酸洗槽上方；第二酸洗槽的排風(fēng)量根據(jù)生產(chǎn)要求，槽的斷面風(fēng)速達(dá)到0．25m／s，當(dāng)所有酸洗槽同時(shí)工作時(shí)，排風(fēng)量高達(dá)32200m3／h，所以對(duì)排風(fēng)的能源進(jìn)行回收，設(shè)置防酸性熱回收裝置，風(fēng)量排出前先與新風(fēng)進(jìn)行熱量交換進(jìn)行熱量交換，節(jié)約運(yùn)行費(fèi)用。
(4)K-1系統(tǒng)，因?yàn)樽o(hù)散爐間人員極少進(jìn)入，全年的運(yùn)行方案為：夏季因擴(kuò)散爐的散熱量較大，系統(tǒng)做成全排式；過(guò)渡季節(jié)當(dāng)室外溫度低于送風(fēng)溫度時(shí)，停止制冷，將新風(fēng)作為冷源直接送入室內(nèi)；冬季因?yàn)榕棚L(fēng)溫度較高，可用排風(fēng)預(yù)熱新風(fēng)到設(shè)計(jì)溫度后送入室內(nèi)，最大限度地節(jié)省運(yùn)行費(fèi)用，避免能源的浪費(fèi)。
3 改造后的使用效果
系統(tǒng)改造后經(jīng)高度確保每個(gè)房間的風(fēng)量、正壓達(dá)到設(shè)計(jì)要求，在動(dòng)態(tài)下檢測(cè)，廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到設(shè)計(jì)要求。尤其是系統(tǒng)改造前問(wèn)題比較突出的幾個(gè)區(qū)域，黃光室達(dá)到動(dòng)態(tài)千級(jí)；護(hù)散爐區(qū)域經(jīng)過(guò)彩鋼板圍護(hù)，其周?chē)鷧^(qū)域溫度達(dá)到達(dá)設(shè)計(jì)要求；酸洗槽改為上抽風(fēng)，斷面風(fēng)速均達(dá)到0．3m／s;風(fēng)淋室的初、高效過(guò)濾器更換后，阻力降低，更換循環(huán)風(fēng)機(jī)后風(fēng)速提高，出口風(fēng)速達(dá)到26m／s。
本工程改造前主要特點(diǎn)表現(xiàn)在系統(tǒng)工藝布置不合理(未對(duì)凈化區(qū)及非凈化區(qū)時(shí)行明確劃分)、混用掙化及非凈化區(qū)空調(diào)系統(tǒng)，不符合“規(guī)范”的要求；酸洗槽排風(fēng)量不足；護(hù)散爐區(qū)因送風(fēng)少及未設(shè)局排設(shè)施導(dǎo)致環(huán)境溫度超標(biāo)；改造后將生產(chǎn)工藝布局做了適當(dāng)調(diào)整，按照規(guī)
范的要求，對(duì)凈化區(qū)及非凈化區(qū)單獨(dú)設(shè)置空調(diào)系統(tǒng)；加大酸洗槽排風(fēng)量，同時(shí)采用了熱排風(fēng)問(wèn)收裝置，對(duì)補(bǔ)充新風(fēng)進(jìn)行預(yù)熱 (預(yù)冷)，節(jié)約能源，降低運(yùn)行費(fèi)用。建議在今后的空調(diào)工程設(shè)計(jì)中，對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境有要求的工藝，既應(yīng)該按照生產(chǎn)過(guò)程布置工藝，同時(shí)還要考慮到有利于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)和控制，保證生產(chǎn)環(huán)境的可靠性。
4 結(jié)論
K-1系統(tǒng)，因?yàn)樽o(hù)散爐間人員極少進(jìn)入，全年的運(yùn)行方案為：夏季因擴(kuò)散爐的散熱量較大，系統(tǒng)做成全排式；過(guò)渡季節(jié)當(dāng)室外溫度低于送風(fēng)溫度時(shí)，停止制冷，將新風(fēng)作為冷源直接送入室內(nèi)；冬季因?yàn)榕棚L(fēng)溫度較高，可用排風(fēng)預(yù)熱新風(fēng)到設(shè)計(jì)溫度后送入室內(nèi)，最大限度地節(jié)省運(yùn)行費(fèi)用，避免能源的浪費(fèi)。
