南通潔凈室空間施工與設(shè)計建造特點
南通潔凈室空間施工與設(shè)計建造特點：電子工業(yè)廠的環(huán)境特點與潔凈程度您有所了解嗎？對于很多潔凈廠房的人來說有著很多的注意的問題，
電子廠房潔凈空間施工與設(shè)計建造特點
電子工廠如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠；液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機電致發(fā)光顯示器(PLED)等光電子工廠都離不開潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。生產(chǎn)所要求的環(huán)境不僅僅有：建筑圍護、結(jié)構(gòu)、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如：建筑的形式和層高、結(jié)構(gòu)的承重、圍護結(jié)構(gòu)的裝修材料；環(huán)境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力；水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等?？偟膩碚f，電子工廠生產(chǎn)工藝對環(huán)境的要求可用大、凈、精、純、嚴(yán)五個字來形容。
1 電子工廠生產(chǎn)工藝對受控環(huán)境的要求
•大：生產(chǎn)工藝要求潔凈室的面積越來越大。就拿彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)生產(chǎn)用潔凈室的面積來說，5代TFT生產(chǎn)用潔凈室的面積約28000m2；6代TFT潔凈室的面積約40000m2；到了8代TFT生產(chǎn)用單間潔凈室的面積就大到80000m2以上。潔凈室內(nèi)可停放20多架波音747飛機。
•凈：電子工廠，尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔凈室對環(huán)境潔凈度的要求越來越凈。例如，12時園片超大規(guī)模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達1級(0．1um)也就是每立方英尺空氣中≥O．1um的粒子數(shù)不能超過1顆。相當(dāng)于ISO1級。
電子廠房潔凈空間施工與設(shè)計
•純：大規(guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純?nèi)軇┑募兌纫笤絹碓郊儭＠纾簩Ω呒兯?，不僅對其電阻率有要求，而且對高純水中所含粒子、細菌、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴(yán)格的要求，隨著生產(chǎn)工藝的發(fā)展，對其純度的要求也越來越高?？芍^純之又純。
•嚴(yán)：電子工業(yè)生產(chǎn)不僅對環(huán)境的潔凈度，溫、濕度有嚴(yán)格的要求，同時對環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場屏蔽)、振(微振)等都有嚴(yán)格的要求。尤其微電子生產(chǎn)，對環(huán)境的分子級污染提出了新的嚴(yán)格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴(yán)格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對半導(dǎo)體工藝有害的元素。因此在處理空氣時還要用淋水(淋自來水、淋純凈水)來吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學(xué)過濾器來吸附新風(fēng)中的有害分子成份。
2電子工廠高級別潔凈室多采用混合流潔凈室
為了降低潔凈室的建造初投資和運行能耗，電子工廠的高級別潔凈室一般把ISO 1級～ISO 5級這樣高凈化級別的垂直單向流用在工藝生產(chǎn)最重要、最關(guān)鍵的部位，用大面積的非單向流(ISO 6級～ISO 8級)替代大面積的單向流，也就是把垂直單向流與非單向流組合在一個潔凈室內(nèi)，構(gòu)成混合流潔凈室。
混合流潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)一般采用新風(fēng)機組(MAU)加風(fēng)機過濾器機組(FFU)加干冷盤管(DC)的送風(fēng)方案。當(dāng)前國內(nèi)外微電子、光電子等大面積的生產(chǎn)廠房廣泛采用的混合潔凈室，具有調(diào)節(jié)方便、節(jié)能顯著、靈活性強，適應(yīng)電子工業(yè)工藝的更新?lián)Q代，又能節(jié)能非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間等優(yōu)點，是最佳的空氣處理方案和最優(yōu)秀的送風(fēng)系統(tǒng)。
•方案中的新風(fēng)機組(MAU)有五大任務(wù)：
(1)新風(fēng)機組要有維持潔凈室內(nèi)的正壓和補充工藝設(shè)備排風(fēng)的足夠新鮮空氣量，以防止外面污染空氣的滲入。一般情況新風(fēng)量應(yīng)該等于潔凈室的排風(fēng)量加上維持室內(nèi)正壓的滲漏風(fēng)量之和。
(2)新風(fēng)機組要能確保潔凈室內(nèi)嚴(yán)格要求的相對濕度。因此夏季新風(fēng)機組要有足夠的降溫去濕能力，在冬季還要求一定的加濕手段。
(3)新風(fēng)機組內(nèi)要設(shè)置多級過濾器(粗效、中效、高效過濾器)以保護FFU終端的超高效過濾器。
(4)新風(fēng)機組要能吸收和吸附室外大氣內(nèi)中的有害氣體成份，以消除新風(fēng)中的分子污染。為此，新風(fēng)機組內(nèi)還應(yīng)設(shè)置淋水室以吸收N、S、等有害的元素。淋水室有一級淋水和兩級淋水(一級淋自來水、二級淋純凈水)，同時還要設(shè)置化學(xué)過濾器(活性炭過濾器)用以吸附新風(fēng)中的有害分子成份。
(5)在黃河以北，尤其是我國的東北地區(qū)，在冬季室外空氣溫度在零下十幾度或幾十度。因此，新風(fēng)機組在北方需要考慮防凍預(yù)熱的措施。
總之，電子工廠高級別的潔凈室的設(shè)計和建造一定要了解其建造的特點，解決其中的各個課題才能建造出高質(zhì)量、高安全、高可靠、省投資、省運用費．而且確保生產(chǎn)工藝要求的各種環(huán)境參數(shù)的潔凈室。
電子廠房潔凈空間施工與設(shè)計建造特點
電子工廠如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠；液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機電致發(fā)光顯示器(PLED)等光電子工廠都離不開潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。生產(chǎn)所要求的環(huán)境不僅僅有：建筑圍護、結(jié)構(gòu)、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如：建筑的形式和層高、結(jié)構(gòu)的承重、圍護結(jié)構(gòu)的裝修材料；環(huán)境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力；水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等?？偟膩碚f，電子工廠生產(chǎn)工藝對環(huán)境的要求可用大、凈、精、純、嚴(yán)五個字來形容。
1 電子工廠生產(chǎn)工藝對受控環(huán)境的要求
•大：生產(chǎn)工藝要求潔凈室的面積越來越大。就拿彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)生產(chǎn)用潔凈室的面積來說，5代TFT生產(chǎn)用潔凈室的面積約28000m2；6代TFT潔凈室的面積約40000m2；到了8代TFT生產(chǎn)用單間潔凈室的面積就大到80000m2以上。潔凈室內(nèi)可停放20多架波音747飛機。
•凈：電子工廠，尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔凈室對環(huán)境潔凈度的要求越來越凈。例如，12時園片超大規(guī)模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達1級(0．1um)也就是每立方英尺空氣中≥O．1um的粒子數(shù)不能超過1顆。相當(dāng)于ISO1級。
電子廠房潔凈空間施工與設(shè)計
•純：大規(guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純?nèi)軇┑募兌纫笤絹碓郊儭＠纾簩Ω呒兯?，不僅對其電阻率有要求，而且對高純水中所含粒子、細菌、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴(yán)格的要求，隨著生產(chǎn)工藝的發(fā)展，對其純度的要求也越來越高?？芍^純之又純。
•嚴(yán)：電子工業(yè)生產(chǎn)不僅對環(huán)境的潔凈度，溫、濕度有嚴(yán)格的要求，同時對環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場屏蔽)、振(微振)等都有嚴(yán)格的要求。尤其微電子生產(chǎn)，對環(huán)境的分子級污染提出了新的嚴(yán)格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴(yán)格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對半導(dǎo)體工藝有害的元素。因此在處理空氣時還要用淋水(淋自來水、淋純凈水)來吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學(xué)過濾器來吸附新風(fēng)中的有害分子成份。
2電子工廠高級別潔凈室多采用混合流潔凈室
為了降低潔凈室的建造初投資和運行能耗，電子工廠的高級別潔凈室一般把ISO 1級～ISO 5級這樣高凈化級別的垂直單向流用在工藝生產(chǎn)最重要、最關(guān)鍵的部位，用大面積的非單向流(ISO 6級～ISO 8級)替代大面積的單向流，也就是把垂直單向流與非單向流組合在一個潔凈室內(nèi)，構(gòu)成混合流潔凈室。
混合流潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)一般采用新風(fēng)機組(MAU)加風(fēng)機過濾器機組(FFU)加干冷盤管(DC)的送風(fēng)方案。當(dāng)前國內(nèi)外微電子、光電子等大面積的生產(chǎn)廠房廣泛采用的混合潔凈室，具有調(diào)節(jié)方便、節(jié)能顯著、靈活性強，適應(yīng)電子工業(yè)工藝的更新?lián)Q代，又能節(jié)能非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間等優(yōu)點，是最佳的空氣處理方案和最優(yōu)秀的送風(fēng)系統(tǒng)。
•方案中的新風(fēng)機組(MAU)有五大任務(wù)：
(1)新風(fēng)機組要有維持潔凈室內(nèi)的正壓和補充工藝設(shè)備排風(fēng)的足夠新鮮空氣量，以防止外面污染空氣的滲入。一般情況新風(fēng)量應(yīng)該等于潔凈室的排風(fēng)量加上維持室內(nèi)正壓的滲漏風(fēng)量之和。
(2)新風(fēng)機組要能確保潔凈室內(nèi)嚴(yán)格要求的相對濕度。因此夏季新風(fēng)機組要有足夠的降溫去濕能力，在冬季還要求一定的加濕手段。
(3)新風(fēng)機組內(nèi)要設(shè)置多級過濾器(粗效、中效、高效過濾器)以保護FFU終端的超高效過濾器。
(4)新風(fēng)機組要能吸收和吸附室外大氣內(nèi)中的有害氣體成份，以消除新風(fēng)中的分子污染。為此，新風(fēng)機組內(nèi)還應(yīng)設(shè)置淋水室以吸收N、S、等有害的元素。淋水室有一級淋水和兩級淋水(一級淋自來水、二級淋純凈水)，同時還要設(shè)置化學(xué)過濾器(活性炭過濾器)用以吸附新風(fēng)中的有害分子成份。
(5)在黃河以北，尤其是我國的東北地區(qū)，在冬季室外空氣溫度在零下十幾度或幾十度。因此，新風(fēng)機組在北方需要考慮防凍預(yù)熱的措施。
總之，電子工廠高級別的潔凈室的設(shè)計和建造一定要了解其建造的特點，解決其中的各個課題才能建造出高質(zhì)量、高安全、高可靠、省投資、省運用費．而且確保生產(chǎn)工藝要求的各種環(huán)境參數(shù)的潔凈室。
